今日光刻机概念表现强势，智光电气(5.61 +10.00%,诊股)、西陇科学(5.50 +10.00%,诊股)、飞凯材料(13.98 +9.99%,诊股)、南大光电(9.92 +9.98%,诊股)、晶瑞股份(17.59 +10.01%,诊股)(复牌)集体涨停，蓝英装备(8.59 +3.00%,诊股)、上海新阳(36.15 +0.61%,诊股)、强力新材(15.24 +10.04%,诊股)纷纷走强。

　　消息面上，《上海市智能制造行动计划(2019—2021年)》正式发布，提出在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。